半導(dǎo)體純水系統(tǒng)在使用過程中需要注意哪些問題

水質(zhì)監(jiān)測方面

• 定期檢測關(guān)鍵指標(biāo)：要定時對電阻率、總有機碳（TOC）、顆粒數(shù)量、微生物含量等關(guān)鍵水質(zhì)指標(biāo)進(jìn)行檢測。例如，電阻率需時刻保持在大于 18MΩ.cm（25℃）的高標(biāo)準(zhǔn)范圍，一旦發(fā)現(xiàn)指標(biāo)異常下降，可能意味著系統(tǒng)中某個環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題，需及時排查處理。
• 檢測頻率合理安排：對于生產(chǎn)工藝要求高、用水量大的情況，檢測頻率應(yīng)更高，可能每小時甚至更短時間就要檢測一次部分關(guān)鍵指標(biāo)；而對于用水相對穩(wěn)定且對水質(zhì)波動不太敏感的環(huán)節(jié)，可適當(dāng)延長至數(shù)小時或一天檢測一次，但也絕不能忽視定期檢測工作。

設(shè)備運行維護(hù)方面

• 預(yù)處理設(shè)備維護(hù)：
  • 機械過濾器需定期檢查過濾介質(zhì)的堵塞情況，根據(jù)壓差變化適時進(jìn)行反沖洗，以保證過濾效果，一般當(dāng)進(jìn)出口壓差達(dá)到一定數(shù)值（如 0.05 - 0.1MPa）時就需反沖洗，防止因堵塞導(dǎo)致水流不暢影響后續(xù)處理。
  • 活性炭過濾器要關(guān)注活性炭的吸附飽和情況，定期更換活性炭，避免因吸附能力下降而無法有效去除有機物和余氯，影響后續(xù)反滲透膜等的壽命和純水質(zhì)量。
  • 軟化器要及時補充或再生離子交換樹脂，確保其持續(xù)具備去除鈣、鎂等離子的能力，防止因樹脂失效出現(xiàn)水硬度升高的問題。
• 反滲透膜及相關(guān)組件維護(hù)：
  • 密切關(guān)注反滲透膜的運行壓力、流量和脫鹽率等參數(shù)，當(dāng)脫鹽率明顯下降、產(chǎn)水量減少或者運行壓力異常升高時，可能意味著膜受到污染或者損壞，需要及時進(jìn)行化學(xué)清洗或者更換膜組件。
  • 定期對反滲透系統(tǒng)的高壓泵、管道等進(jìn)行檢查，防止出現(xiàn)泄漏、壓力異常等情況影響系統(tǒng)正常運行。
• 離子交換設(shè)備維護(hù)：對于離子交換樹脂床，要按照樹脂的使用壽命和實際運行情況，定期進(jìn)行再生或者更換樹脂，保證其去除離子的效果，同時要注意再生操作的規(guī)范，防止因再生劑用量不當(dāng)?shù)葐栴}影響樹脂性能。
• EDI 模塊維護(hù)：
  • 監(jiān)控 EDI 模塊的電壓、電流、水質(zhì)等參數(shù)，出現(xiàn)水質(zhì)下降、電流電壓異常波動時，要排查是否有結(jié)垢、樹脂性能下降或者膜損壞等問題，并及時采取相應(yīng)措施，如進(jìn)行化學(xué)清洗、更換損壞部件等。
  • 保證 EDI 模塊運行的進(jìn)水水質(zhì)符合要求，避免因進(jìn)水水質(zhì)不佳導(dǎo)致模塊頻繁故障。
• 后處理設(shè)備維護(hù)：
  • 紫外線殺菌器要定期檢查紫外線燈管的使用情況，及時更換老化或者損壞的燈管，確保殺菌效果。
  • 超濾裝置要關(guān)注膜的通量變化，定期進(jìn)行清洗以去除膜表面的污染物，維持穩(wěn)定的過濾效果。

運行環(huán)境方面

• 溫度控制：保持設(shè)備運行環(huán)境溫度在合適范圍，一般多數(shù)半導(dǎo)體純水系統(tǒng)適宜的環(huán)境溫度在 15℃- 35℃之間，溫度過高可能影響設(shè)備性能、降低膜的使用壽命，溫度過低則可能導(dǎo)致部分水結(jié)冰、損壞設(shè)備管道等。
• 濕度調(diào)節(jié)：環(huán)境濕度也應(yīng)合理控制，濕度過高容易引發(fā)設(shè)備生銹、滋生霉菌等問題，影響設(shè)備壽命和純水質(zhì)量；濕度過低可能產(chǎn)生靜電等隱患，對電子控制部件等造成損害，可通過除濕設(shè)備等將濕度控制在 40%-60% 左右。
• 潔凈度保障：系統(tǒng)所在空間要保持較高的潔凈度，防止灰塵、顆粒物等進(jìn)入系統(tǒng)，影響純水水質(zhì)或者堵塞設(shè)備部件，必要時可設(shè)置空氣凈化設(shè)備，維持潔凈的運行環(huán)境。

操作規(guī)范方面

• 人員培訓(xùn)：操作人員需經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，熟悉系統(tǒng)的工藝流程、設(shè)備操作方法、應(yīng)急處理措施等，嚴(yán)格按照操作規(guī)程進(jìn)行各項操作，避免因誤操作導(dǎo)致設(shè)備損壞或者水質(zhì)惡化等問題。
• 開關(guān)機流程：嚴(yán)格遵循正確的開關(guān)機順序，開機時要依次開啟預(yù)處理設(shè)備、核心處理設(shè)備（如反滲透、EDI 等）、后處理設(shè)備等，并做好各環(huán)節(jié)的參數(shù)監(jiān)測和調(diào)節(jié)；關(guān)機時要按照相反順序，進(jìn)行合理的排空、沖洗等操作，防止設(shè)備內(nèi)殘留的水滋生細(xì)菌、結(jié)垢等。
• 藥劑添加規(guī)范：在需要添加阻垢劑、酸堿調(diào)節(jié)劑等藥劑的環(huán)節(jié)，要準(zhǔn)確控制藥劑的種類、用量、添加時間等，確保藥劑能發(fā)揮正常作用且不會因過量添加等對水質(zhì)造成不良影響。

應(yīng)急處理方面

• 制定應(yīng)急預(yù)案：針對可能出現(xiàn)的設(shè)備故障、水質(zhì)突然惡化、斷電等突發(fā)情況，制定完善的應(yīng)急預(yù)案，明確各情況的應(yīng)對措施、責(zé)任人員等，確保在突發(fā)狀況下能迅速響應(yīng)，減少損失。
• 應(yīng)急備用設(shè)備：配備必要的應(yīng)急備用設(shè)備，如備用的水泵、電源等，在關(guān)鍵設(shè)備出現(xiàn)故障時能及時替換，保障系統(tǒng)的基本運行，維持一定時間的純水供應(yīng)，避免對半導(dǎo)體生產(chǎn)造成長時間中斷影響。