半導(dǎo)體純水制造設(shè)備

主要工藝流程及設(shè)備

• 預(yù)處理系統(tǒng)：
  • 作用：去除原水中的大顆粒雜質(zhì)、有機(jī)物、余氯等，為后續(xù)的反滲透和離子交換等深度處理工序提供穩(wěn)定的進(jìn)水水質(zhì)，減輕后續(xù)設(shè)備的負(fù)擔(dān)，延長(zhǎng)其使用壽命。
  • 常見設(shè)備：多介質(zhì)過濾器，通常填充石英砂、無煙煤等濾料，可去除水中的懸浮物、泥沙等雜質(zhì)；活性炭過濾器，利用活性炭的吸附作用，去除水中的有機(jī)物、余氯和部分重金屬離子；軟化水設(shè)備，通過離子交換樹脂去除水中的鈣、鎂等離子，降低水的硬度，防止在后續(xù)設(shè)備中產(chǎn)生水垢。
    
• 反滲透系統(tǒng)：
  • 作用：在壓力作用下，使水通過半透膜，而鹽分等雜質(zhì)被截留，從而達(dá)到除鹽和去除其他小分子雜質(zhì)的目的，能有效降低水質(zhì)的離子含量。
  • 核心部件：反滲透膜，其孔徑非常小，能截留水中的絕大部分無機(jī)鹽、有機(jī)物、細(xì)菌等雜質(zhì)。
  • 設(shè)備特點(diǎn)：反滲透純水設(shè)備產(chǎn)水品質(zhì)穩(wěn)定，是目前比較通用的純水生產(chǎn)設(shè)備，一級(jí)反滲透設(shè)備出水電阻率一般在 0.05-0.5MΩ.cm。
• 電去離子（EDI）系統(tǒng)?：
  • 作用：是一種將離子交換技術(shù)、離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù)，可進(jìn)一步去除水中的離子雜質(zhì)，生產(chǎn)出高純度的超純水。
  • 工作原理：在直流電場(chǎng)的作用下，通過隔板的水中電介質(zhì)離子發(fā)生定向移動(dòng)，利用交換膜對(duì)離子的選擇透過作用來對(duì)水質(zhì)進(jìn)行提純。
  • 優(yōu)點(diǎn)：無需酸堿再生，消除了有害物質(zhì)的處理和繁重工作，保護(hù)了環(huán)境；產(chǎn)水過程穩(wěn)定連續(xù)，水質(zhì)恒定，操作簡(jiǎn)便；采用積木式結(jié)構(gòu)，體積小，可依據(jù)場(chǎng)地靈活構(gòu)造，模塊化設(shè)計(jì)便于維護(hù)。
• 拋光混床：
  • 作用：作為高純度水處理系統(tǒng)中的終端精制器，能夠?qū)⑺械碾x子含量降到極低的 ppb 級(jí)別，使出水電導(dǎo)率達(dá)到接近理論純水的水平，通常出水電阻率可達(dá) 18.2MΩ?CM。
  • 原理：利用離子交換樹脂的離子交換作用，進(jìn)一步去除水中殘留的微量離子。
• 后處理系統(tǒng)：
  • 作用：對(duì)經(jīng)過前面處理工序的純水進(jìn)行最后的精制和處理，以滿足半導(dǎo)體制造對(duì)水質(zhì)的嚴(yán)格要求，如去除水中的顆粒、有機(jī)物、微生物等雜質(zhì)，并調(diào)節(jié)水的 pH 值等參數(shù)。
  • 常見設(shè)備：紫外線殺菌器，利用紫外線照射殺滅水中的細(xì)菌、病毒等微生物；精密過濾器，通常采用微孔濾膜，可去除水中的微小顆粒雜質(zhì)，確保出水的顆粒度符合要求；離子交換柱，用于進(jìn)一步調(diào)整水中的離子組成和濃度，以達(dá)到特定的水質(zhì)要求；脫氣膜組件，用于去除水中的溶解氣體，如氧氣、二氧化碳等，防止其對(duì)半導(dǎo)體制造過程產(chǎn)生不良影響。

設(shè)備特點(diǎn)

• 出水水質(zhì)高：能夠生產(chǎn)出電阻率高達(dá) 18.2MΩ?cm（25℃）以上的超純水，水中的雜質(zhì)含量極低，如顆粒、有機(jī)物、微生物、離子等雜質(zhì)都被嚴(yán)格控制在 ppb 級(jí)甚至更低。
• 穩(wěn)定性好：采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制系統(tǒng)和優(yōu)質(zhì)的部件，確保設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行過程中，能夠穩(wěn)定地生產(chǎn)出符合要求的純水，不受原水水質(zhì)波動(dòng)和外界環(huán)境變化的影響。
• 無需酸堿再生：如采用 EDI 技術(shù)的設(shè)備，無需使用酸和堿對(duì)離子交換樹脂進(jìn)行再生，減少了化學(xué)藥劑的使用和廢水處理成本，同時(shí)也避免了因酸堿再生帶來的操作風(fēng)險(xiǎn)和環(huán)境污染?。
• 自動(dòng)化程度高：可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制，包括進(jìn)水、預(yù)處理、反滲透、EDI、后處理等各個(gè)環(huán)節(jié)的自動(dòng)運(yùn)行、監(jiān)控和調(diào)節(jié)，易于操作和維護(hù)，減少人工干預(yù)，提高生產(chǎn)效率。
• 運(yùn)行成本低：相比傳統(tǒng)的離子交換等純水制造方法，由于減少了酸堿再生、廢水處理等環(huán)節(jié)，以及設(shè)備本身的節(jié)能設(shè)計(jì)和高效運(yùn)行，使得運(yùn)行費(fèi)用較低。
• 占地面積小：設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，采用模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)實(shí)際需求靈活組合和安裝，節(jié)省了廠房空間?。